Компенсатор
01
Сильфонный компенсатор для вакуумного поля высокого давления
Функции продукта
Вакуумная герметичность: Благодаря использованию высокоточной технологии сварки и специальной уплотнительной конструкции, гарантируется отсутствие утечек в условиях высокого вакуума от 10⁻⁸ Па·м³/с до 10⁻¹¹ Па·м³/с, что соответствует строгим требованиям таких отраслей, как полупроводниковая промышленность и фотовольтаика.
Компенсация смещений: Благодаря упругой деформации сильфонов, они поглощают осевые, поперечные и угловые смещения, предотвращая концентрацию напряжений в трубопроводах, вызванную термическим расширением/сжатием или вибрацией оборудования, и продлевая срок службы оборудования.
Снижение вибрации и шума: Гибкая конструкция позволяет эффективно снижать вибрации и шум, передаваемые таким оборудованием, как вакуумные и турбомолекулярные насосы, повышая стабильность работы системы.
Коррозионная стойкость и устойчивость к высоким температурам: Изготовленные из нержавеющей стали или специальных сплавов, они подходят для работы в агрессивных газах (например, в кислых газах в процессах CVD) и в условиях высоких температур (от -200℃ до +450℃).
Область применения
Полупроводниковая и электронная промышленность: Используется в вакуумных трубопроводах для подключения оборудования при производстве кремниевых пластин, травлении, нанесении покрытий (PVD/CVD) и т. д., обеспечивая высокую чистоту и бесперебойную передачу данных.
Вакуумные насосные системы: Подключаются к насосам Рутса, роторно-лопастным насосам, молекулярным насосам и т. д., для компенсации вибраций и тепловых смещений, а также для улучшения герметичности.
Вакуумные клапаны и соединения камер: В вакуумных установках для нанесения покрытий и оборудовании для электронно-лучевой сварки они служат гибкими переходными элементами между клапанами и камерами, предотвращая риск утечек, вызванный жесткими соединениями.
Научно-исследовательское и медицинское оборудование: применяется в прецизионных приборах, таких как ускорители частиц, электронные микроскопы и вакуумные сушилки для замораживания, для обеспечения стабильности высоковакуумной среды.
Новая энергетика и фотоэлектрическая промышленность: используется в таких процессах, как нанесение покрытий на солнечные элементы и вакуумная сушка литиевых батарей, выдерживая высокие температуры и химически агрессивные среды.
Преимущества продукта
Адаптируемость к высокому вакууму: соответствие требованиям сверхвысокого вакуума до 10⁻¹¹Па·м³/с без выделения газов и загрязнения окружающей среды.
Конструкция с увеличенным сроком службы: многослойная конструкция сильфона с усталостной прочностью ≥10 000 циклов.
Различные способы соединения: фланцы (KF/CF), сварка или быстроразъемные соединения, совместимые с различными стандартами вакуумной техники (ISO/DIN).
Услуги по индивидуальному заказу: Поддержка индивидуального заказа различных калибров (DN10~DN500), длин и специальных материалов (таких как Hastelloy).
Вакуумные сильфоны из нержавеющей стали являются ключевыми компонентами, обеспечивающими эффективную и стабильную работу вакуумного оборудования, подходящего для промышленных и научных исследований с высокими требованиями к чистоте и точности. Для получения технических параметров или помощи в выборе, пожалуйста, свяжитесь с нашей командой специалистов!